HORIBA堀场制作所 流量控制器D700uF
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HORIBA堀场制作所 流量控制器D700uF
更多详情咨询：13024103468 刘经理
微流量压力不敏感质量流量模块
D700uF（Micro Flow）专为≤5SCCM流量应用而设计。
在高纵横比工艺中，≤5SCCM的流量控制是非常关键的。
专门的组件和新开发的内部低流量标准允许高精度流量控制低至0.025SCCM。
低至0.025SCCM流量控制能力
精密调气控制，提高工艺可调性
≤100ms升压响应和mfc到mfc偏差控制
提供高生产率和更高的过程性能
内部流量计量
所有制造产品的可靠性能
状态监控功能
为更智能的故障预测提供更多内部数据
PFA喷嘴具有更好的阀门关闭性和耐腐蚀性
具有较小颗粒风险的鲁棒性，可减少停机时间并优化产量
*1：Please contact us for supported gas type and full scale flow rate.
*2：Flow rate accuracy can be guaranteed down to 0.1 SCCM N₂ equivalent.
*3：This is guaranteed value under 25 ℃ and ≤ 1.0 × 10-3 Pa(A).
*4：This is guaranteed under our conditions using calibration N₂ gas. Setting time may vary depending on the gas type and operating environment conditions.
*5：Pressure perturbation has to be smaller than 20 % pressure change per second and ±70 kPa/sec(±10 PSI/sec).
*6：EtherCAT® is a registered trademark and patented technology, licensed by Beckhoff Automation GmbH in Germany.