HORIBA堀场制作所 流量控制器D717T
HORIBA堀场制作所 流量控制器D717THORIBA堀场制作所 流量控制器D717THORIBA堀场制作所 流量控制器D717T更多详情咨询：13024103468 刘经理最佳性能压力不敏感质量流量模块D700T是性能最佳的压力不敏感质量流量模块，专为关键的半导体制造工艺而设计。D700T采用HORIBA CRITERION基于压力的流量测量和控制技术，提供行业领先的可重复和精确的性能。此外，
HORIBA堀场制作所 流量控制器D717T
HORIBA堀场制作所 流量控制器D717T
HORIBA堀场制作所 流量控制器D717T
更多详情咨询：13024103468 刘经理
最佳性能压力不敏感质量流量模块
D700T是性能最佳的压力不敏感质量流量模块，专为关键的半导体制造工艺而设计。D700T采用HORIBA CRITERION基于压力的流量测量和控制技术，提供行业领先的可重复和精确的性能。此外，D700T的独特之处在于采用专利的先进流量控制算法和双阀结构，使客户的气体输送系统能够解决多种挑战。
概要
≤100msec全线快速稳定时间（可设为“设置”、“升压”、“降压”）
进出口压力不敏感性能
先进的故障检测，诊断压力传感器移位，阀座泄漏和流量精度变化
在0.15%标准价格范围内可重复性
最佳精度规格在0.45% S.P.以内*（标准：0.8% S.P.）
更宽的工作温度范围（15-60°C）
*注：D700T为单气体配置。向堀场询问规格。
＊1 Flow rate accuracy can be guaranteed down to 0.1 SCCM N2 equivalent.
＊2 This is guaranteed value under 25 ℃ and ≤ 1 × 10-3 Pa (A).
＊3 Setting time is MFC output signal and N2 gas at 25 ℃. Definition of setting time is 2 %S.P. or 0.05 %F.S. of the change in setting, whichever is larger. However, if the change in setting is less than 0.5 %F.S., 50 % of the change in setting.
＊4 Pressure perturbation has to be smaller than 20 % pressure change per second and ±70 kPa/sec. (±10 PSI/sec.)
＊5 Zero adjustment is required to eliminate orientation influence after installation.
＊6 EtherCAT® is a registered trademark and patented technology, licensed by Beckhoff Automation GmbH in Germany.