HORIBA堀场制作所 新型压力补偿质量流量控制器SEC-Z724SMG

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更多详情咨询：13024103468 刘经理

SEC-Z700S 系列配备了新开发的热传感器和压力补偿功能，可实现稳定的流量控制。集成压力测量功能降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。新功能简化了供气系统。典型的多腔室气体管线具有管线调节器、压力传感器和过滤器，以避免由压力波动引起的质量流量控制器串扰现象。SEC-Z700S 系列可以不受上流和下流压力的影响，提供稳定的流量控制。提供流量输出、温度和压力读数。

基本特征

• 多气体/多量程功能，客户可以更改气体类型和满量程流量

• 稳定控制气流，不受上流和下流压力波动的影响

• 集成多重显示

• 超洁净设计：金属隔膜，全不锈钢 SUS-316L 和抛光表面处理（标准）

• 尺寸紧凑，50 SLM 以内采用相同的安装尺寸

• 信号兼容：支持 EtherCAT 和 DeviceNet 通讯模式

主要特征

• 确保 1% 设定点精度（流量≥5%）

• 高重复性（≤±0.15% 设定点/流量≥5%）

• 范围控制广（0.5-100% 满量程）

• 可调响应（300ms≤t≤1000ms）

• 高操作温度（15-60℃）

• 低阀座泄漏（≤0.1% 满量程/#01-#06）

• 高耐腐蚀性设计