HORIBA堀场制作所 排气压力控制器EC-5105

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更多详情咨询：13024103468 刘经理

EC-5000 系列排气压力控制器可将处理室的压力值维持在客户设定的范围。高分辨率步进电机和蝶阀设计确保对任何压力变化做出快速、灵敏的响应。

概要

优点:

• 适用于高真空环境：不锈钢机身

• 抗腐蚀：PTFE 机身可选

• RoHS 标准

当排气流量被调整到适合水平：

• 抗蚀剂以薄膜形式均匀分布

• 防止烟雾的二次沉积

• 防止危险蒸气扩散

与流量传感器控制相比，由抗蚀剂和其他污染物累积引起的灵敏度变化较小，同时消除了湍流和其他噪声的影响，确保控制精准、稳定、迅速。