HORIBA堀场制作所 紧凑型加热汽化仪LSC-A100

HORIBA堀场制作所 紧凑型加热汽化仪LSC-A100 

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更多详情咨询：13024103468 刘经理

HORIBA 销量人气的加热汽化系统为满足目前高科技工业的需求而开发。该系统可在无需载气的情况下进行稳定的材料汽化，例如 TEOS（流量 600 SCCM）和 H2O（流量 2 SLM）。为方便操作，所有设备维护都可以在设备前端进行。

概要

• 大流量气化

• LSC-A100 提供 TEOS 600SCCM 和 H2O 2SLM 等材料的稳定气化

• 所有设备维护都可以在设备前端进行

• 可选掌上型 PDA 用于监控 LSC 的运行状态，并记录和分析运行日志