HORIBA堀场制作所 最佳性能压力不敏感质量流量计D717T

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HORIBA堀场制作所 最佳性能压力不敏感质量流量计D717T

HORIBA堀场制作所 最佳性能压力不敏感质量流量计D717T

更多详情咨询：13024103468 刘经理

D700T是性能最佳的压力不敏感质量流量模块，专为关键的半导体制造工艺而设计。D700T采用HORIBA CRITERION基于压力的流量测量和控制技术，提供行业领先的可重复和精确的性能。此外，D700T的独特之处在于采用专利的先进流量控制算法和双阀结构，使客户的气体输送系统能够解决多种挑战。

概要

≤100msec全线快速稳定时间（可设为“设置”、“升压”、“降压”）

进出口压力不敏感性能

先进的故障检测，诊断压力传感器移位，阀座泄漏和流量精度变化

在0.15%标准价格范围内可重复性

最佳精度规格在0.45% S.P.以内*（标准：0.8% S.P.）

更宽的工作温度范围（15-60°C）

*注：D700T为单气体配置。向堀场询问规格。

配置