HORIBA堀场制作所 高响应压力非敏感质量流量器D727MG

HORIBA堀场制作所 高响应压力非敏感质量流量器D727MG

HORIBA堀场制作所 高响应压力非敏感质量流量器D727MG

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更多详情咨询：13024103468 刘经理

关键的半导体制造过程不断要求精确的气体流量控制设备，以实现未来的创新，以及领先的存储和逻辑设备的实验室到工厂的过渡。HORIBA公司提出了新的基于压力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型号，以支持客户的挑战。

概要

• 工具上气体和全尺寸配置更改 *仅 EtherCAT 

• 为流程优化提供灵活性

• 100 ms 响应速度和mfc到mfc的偏差控制

• 提供高生产力和更大的过程性能

• 小流量 MRMG 功能（Bin101 - Bin105）

• 为需要小流量的工艺提供灵活性

• PFA 喷嘴具有更好的阀门关闭和耐腐蚀性能

• 稳定性性和较小的颗粒风险，减少停机时间和优化产量

• 状态监控功能

• 为更智能的故障预测提供更多的内部数据

配置