HORIBA堀场制作所 紧凑型质量流量控制器DZ-114S

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DZ-100 继承了 HORIBA STEC 公司 MFC D500 所采用的相同标准技术 — 粘性层流范围压差检测系统。该技术实现对各种气体的质量流量进行高精度控制。与 D500 一样，用户可配置 DZ-100，支持多量程和多气体应用。MFC 设计紧凑，减少了内部气流通道占用的内部体积，同时采用优化控制算法改善了响应特性。该设备使用处理能力较高的紧凑型中央处理器（CPU）。压电驱动电路和控制中央处理器安装在 MFC 模块中，而电源组件布置在单独的小控制箱中。连接专用微型连接器，最多可以控制四个 MFC 。

概要

• 快速响应（≦0.4 秒）

• 紧凑型（宽：10mm，高：99mm）

• 供给工作压力范围宽

配置