HORIBA堀场制作所 高级四极质分析器SMPA8-7-2/65C

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MICROPOLE系统是最小的质谱仪系统之一，易于安装。该系统被证明是许多腔室表征应用的理想解决方案。紧凑的尺寸是由专利设计的微型阵列的四极质量过滤器。该系统能够在比传统系统高得多的压力下工作，因此减少了对额外差压泵设备的需求。

概要

非常紧凑的尺寸和重量轻

与传统残余气体分析仪相比，尺寸为1/20，易于集成到任何系统

高性能

由9个四极杆组成的迷你阵列在传统四极杆体积的一小部分上提供了出色的灵敏度

高压操作

可在高达0.9Pa （7mTorr, 9 x 10-3mbar）的压力下使用，从而减少或消除了许多应用中昂贵的真空泵

可互换的传感器头校准

传感器头在发货前进行预调谐和校准，允许用户在现场进行传感器更改，而无需微调或技术专业知识

网络传感器

使用RS-485，一台PC可以监控多达8个传感器。通过外部I/O进行无pc扫描操作也是可能的。

用户友好的软件

Micropole Scanner™2软件允许用户在各种模式下监测气体的分压，例如趋势图，频谱图，条形图。