HORIBA堀场制作所 电容式压力计VG-211S
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更多详情咨询:13024103468 刘经理
绝对压力测量对于包括半导体,FPD, HDD, PV和涂层在内的各种行业的真空工艺是至关重要的。电容式压力计从膜片的变形来确定总压力,当膜片的两侧施加压力差时,膜片发生形变。电容式压力计较于其他方法的优点是:
• 高精度
• 压力输出对气体的依赖较小
• 相对气体的耐腐蚀性
概要
微型自加热设计
创新的电极结构带来高性能和高稳定性
SUS316L隔膜
可从温度控制 (55,100°C ) 或非加热型选择
一键调零
电源要求+/-15VDC 或 24VDC
符合 CE 和 RoHS 标准