HORIBA堀场制作所 光纤型化学药液浓度计CS-600F

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更多详情咨询：13024103468 刘经理

CS-600F 提供适合生产的更高级功能，如在各种应用中对高温化学药液进行在线测量的能力，减少停机时间的稳定运行，以及提高空间生产率的紧凑尺寸，以满足先进半导体湿法制程所需的准确化学药液浓度管理。

概要

• 尺寸更小，布局更灵活
  CS-600F 浓度计尺寸紧凑，与成熟型号（CS-100F1 系列）相比，高度降低 36%，体积减少 40%，样品单元光纤电缆所需的空间减少 46%。
  光源单元和浓度计主机可以远程单独安装，支持根据化学药液单元和清洗设备的位置灵活安装。

• 高温化学溶液（20 至 80℃）的高稳定性在线测量
  新的光学系统和改进的处理算法支持在线测量高温化学药液，这是先进湿法制程的关键一步。这消除了冷却化学样品的需要。HORIBA 的 CS-600F 稳定性高，实现了更有效和准确的化学药液管理。

• 背景校正频率显著降低
  与成熟型号（CS-100F1系列）相比，定期校正频率显著降低，这反过来又显著减少了机台停机时间，有助于提高产量。

• 单台浓度计可测量多达六种化学药液（药液种类或浓度范围）
  单台浓度计可测量多达六种化学药液（药液种类或浓度范围）。可自由指定药液类型和浓度范围，CS-600F 保证满足各种检测要求。

• 可输出多达六种组分的测量值（串行输出）
  成熟型号（CS-100F1 系列）可输出四种组分的测量值（串行输出）。CS-600F新型号能以串行输出方式输出多达六种组分的测量值。CS-600F型号模拟输出四种组分，而CS-100F1型号为两种。

配置