HORIBA堀场制作所 光纤型化学药液浓度计CS-151F1

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更多详情咨询：13024103468 刘经理

CS-100F1 系列在CS-100的基础上配备光纤。样品单元直接集成到于清洗系统的管路，并使用光纤电缆传输光信号，提供实时在线测量。每台浓度计可实现多达四种药液的测量，可以在单槽或单晶圆清洗系统中检测多种化学药液。

• 使用在线样品单元实时跟进浓度信息
  使用直接连接清洗系统主管路的在线样品单元实时检测浓度。

• 多达四种药液的多重检测
  每台浓度计可测量多达四种化学药液或浓度范围。用户可单次检测多种化学药液的浓度（或不同配比的化学药液），如单槽或单晶圆清洗系统。

• 更高精度的样品单元类型
  为保证稳定性，还提供一种样品单元类型，支持使用浓度计输出信号反馈进行控制。该浓度计还支持将化学药液浓度保持在可接受的范围内，并消除不必要的化学药液变化。

• 电气单元和测量单元完全分离，安全安装

• 符合 RoHS 标准