HORIBA堀场制作所 非接触式化学药液浓度计CS-900

HORIBA堀场制作所 非接触式化学药液浓度计CS-900

HORIBA堀场制作所 非接触式化学药液浓度计CS-900

HORIBA堀场制作所 非接触式化学药液浓度计CS-900

更多详情咨询：13024103468 刘经理

下一代湿法制程。HORIBA 提供提升产能的化学药液浓度管理设备，以帮助改进制程。

为达到半导体湿法制程中所需的严格化学药液浓度控制，HORIBA 通过设计紧凑设备，以及通过其原有传感器设计保持稳定测量和确保操作人员安全，实现更强大功能以满足需求。

概要

全部无接触，高度稳定

从外部将传感器直接连接到 PFA 管路，实现零污染。这消除了在安装传感器时进行管路施工的要求，从而减少化学事故。此外，通过升级光学系统，设备变得更加紧凑，同时保留 CS-600F*1 的原始规格。

高质量、稳定测量

• 零污染

• 配备温度补偿功能，实现稳定测量

• 配备 HORIBA 原始算法，补偿气泡影响

• 重复性和稳定性与常规的 CS-600*1 相同

抑制振动效应

• HORIBA 采用抗错位强的光学系统结构，与 HORIBA 的原始管路结构协同配合。

节省空间

• 光源和光学传感器已集成至样品单元。

• 平板显示器（9.6cm x 9.6cm）

光源寿命更长

• 使用 LED 灯，延长使用寿命（5 年质保期）

提高工作安全性

• 每半年一次的背景校正补偿周期

• 安装产品时无需安装管路，有助于减少化学药液泄漏等事故。

*1 CS-600 是 HORIBA 的光纤型化学药液浓度计。

不使用光纤的光学设计和主机，加上传感器的缩小提升了安装的自由度

对于宽温度范围（20℃ 至 80℃）的化学药液，可进行直接、稳定的测量

稳定性

测量条件
测量频率：每 3 秒
移动平均数：16 次
温度：室温
管径：3/4 英寸

初始样品浓度
NH3 : 0.95%    H2O2 : 5.15%    H2O: 93.9%

测量结果
样品（实际液体）测量 1 小时，展示出良好的稳定性。

易于装卸

配置