TORAY东丽 氧气浓度计LC-860
酸素濃度計半導体･液晶･電子部品関連用途Oxygen Analyzer for Semiconductors, Electronic Components酸素濃度計 LC-860低濃度測定ppbレベルから100％まで測定可能簡単操作機能別キーにより操作が簡単パージ機能比較ガスを更に安定させ、より精密な測定が可能（パージ機能付仕様のみ）高信頼性センサセンサ内部に劣化防止加工も可能（オプション）LC-
酸素濃度計半導体･液晶･電子部品関連用途Oxygen Analyzer for Semiconductors, Electronic Components
酸素濃度計 LC-860
LC-860 機器仕様
| 測定原理 | ジルコニア濃淡電池式 | ||
|---|---|---|---|
| 形状 | 卓上型/パネル取り付け型 | ||
| 表示方式 | デジタル6桁表示(濃度表示) | ||
| 測定レンジ | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20～10-0atm 自動/固定レンジ | ||
| 繰返性 | ±1%FS以内 1ppm未満の酸素濃度及び0-1ppm,atmレンジは濃度保証範囲外 | ||
| サンプリング方式 | 内蔵ポンプによる連続吸引式 | ||
| サンプルガス条件 | 圧力 | 30KPa以下の加圧 | |
| 流量 | ～1,500mL/min | ||
| 湿度 | 露点が周囲温度以下 | ||
| 温度 | 0～50℃ | ||
| その他 | 腐食性ガス(フッ素系ガス、塩素系ガス、硫化系ガス等)、有機シリコンを含むガス、可燃成分(ガスも含む)、油分、水分を含まないこと | ||
| 比較ガス | 大気 | ||
| 記録計 出力 | 酸素濃度出力 | 4-20mA/0-10V 4-20mA:絶縁、負荷抵抗600Ω以下 0-10V:絶縁、負荷抵抗500Ω以上 記録計出力レンジをフルスケールとし、酸素濃度にリニアな出力 | |
| 出力レンジ | 0-100%、0-10%、0-1%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm、0-1ppm、10-20-10-0 または任意4レンジの自動/固定レンジ | ||
| 伝送出力 | RS-232C | ||
| 警報出力 | FAIL(装置異常) | 1点 | 無電圧接点、接点容量 24VDC/AC以下、0.1A以下 装置異常発生で接点閉(接点動作変更可能) |
| ALM(濃度警報) | 2点 | 無電圧接点、接点容量 24VDC/AC以下、0.1A以下 警報発生で接点閉(接点動作変更可能) | |
| RDY(暖機信号) | 1点 | 無電圧接点、接点容量 24VDC/AC以下、0.5A以下 暖機動作中接点閉(接点動作変更可能)
| |
| MRK(レンジマーカ)出力 | 3点 | 無電圧接点、接点容量 24VDC/AC以下、0.1A以下 | |
| ウォームアップ時間 | 20分以内 | ||
| 寸法 | 本体 | 288(W)×144(H)×400(D)mm (突起部含まず) | |
| 質量 | 約10kｇ | ||
| ガス 接続口 | INLET | Rc1/8 | |
| BYPASS OUT | Rc1/8 | ||
| OUTLET | Rc1/4 | ||
| 使用電源 | 100～120VAC±10% 200VA 50Hz/60Hz | ||
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